| 通道:3進1出 每通道流量:0~500ml/min(其他0-200ml/min請聯(lián)系) 能否與第三方軟件通訊:不能 稀釋比:1-1000 適用氣體:N2, O2, CO2, CH4, Air,NO,CO,Ar,C2H2,C2H6等等 (其他氣體,請咨詢)不適用H2. |
| 通道:3進1出 /4進1出 /6進1出 每通道流量:0~500ml/min(其他0-200ml/min請聯(lián)系) 能否與第三方軟件通訊:能 稀釋比:1-1000 適用氣體:N2, O2, CO2, CH4, Air,NO,CO,Ar,C2H4,C2H6,SF6,C3H8,C4H10, H2 ,He, DME(C2H6O), N2O,SO2 等等(其他氣體,請咨詢) |
| 通道:3進1出 每通道流量:0~5000ml/min(其他0-200ml/min請聯(lián)系) 能否與第三方軟件通訊:能 稀釋比:1-1000 適用氣體:N2, O2, CO2, CH4, Air,NO,CO,Ar,C2H4,C2H6,SF6,C3H8,C4H10, H2 ,He, DME(C2H6O), N2O,SO2 等等(其他氣體,請咨詢) |
| 通道:4進1出/每通道流量:0~5000ml/min 能否與第三方軟件通訊:能 稀釋比:1-1000 適用氣體:N2, O2, CO2, CH4, Air,NO,CO,Ar,C2H4,C2H6,SF6,C3H8,C4H10, H2 ,He,DME(C2H6O), N2O,SO2 等等(其他氣體,請咨詢) |
| 通道:6進1出/每通道流量:0~5000ml/min 能否與第三方軟件通訊:能 稀釋比:1-1000 適用氣體:N2, O2, CO2, CH4, Air,NO,CO,Ar,C2H4,C2H6,SF6,C3H8,C4H10, H2 ,He,DME(C2H6O), N2O,SO2 等等(其他氣體,請咨詢) |
| 通道:3進1出/每通道流量:0~15000ml/min 能否與第三方軟件通訊:能 稀釋比:1-1000 適用氣體: 適用氣體:N2, O2, CO2, CH4, Air,NO,CO,Ar,C2H4,C2H6,SF6,C3H8,C4H10, H2 ,He,DME(C2H6O), N2O,SO2 等等(其他氣體,請咨詢) |