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傅里葉變換紅外光譜分析儀

簡要描述:MG 6030傅里葉變換紅外光譜分析儀是以傅里葉變換紅外為基礎(chǔ)的多氣體光譜分析儀。其具有ppb到ppm靈敏度。廣泛用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝控制和監(jiān)控,氣體純度和組成分析,環(huán)境有毒有害氣體監(jiān)視和工業(yè)尾氣監(jiān)視。MG 6030傅里葉變換紅外光譜分析儀能分析含有高達40%水的氣流,能同時分析和顯示多達30種氣體。

  • 產(chǎn)品型號:MG6030
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 更新時間:2024-01-18
  • 訪  問  量:1071

詳細介紹

傅里葉變換紅外光譜分析儀,MG6030

MG 6030傅里葉變換紅外光譜分析儀是以傅里葉變換紅外為基礎(chǔ)的多氣體光譜分析儀。其具有ppbppm靈敏度。廣泛用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝控制和監(jiān)控,氣體純度和組成分析,環(huán)境有毒有害氣體監(jiān)視和工業(yè)尾氣監(jiān)視。MG 6030傅里葉變換紅外光譜分析儀能分析含有高達40%水的氣流,能同時分析和顯示多達30種氣體。分析儀儲存了校準光譜,故省出了氣體筒的成本。另外,操作者也會發(fā)現(xiàn)MG 6030傅里葉變換紅外光譜分析儀操作簡便,易于維護。

MG 6030傅里葉變換紅外光譜分析儀2102傅里葉變換紅外制成分光計,高光通量取樣單元,專業(yè)分析軟件及獨立的定量光譜庫組成。MG 6030收集高分辨率的紅外光譜與定量光譜庫分析,提供絕大多數(shù)氣體及水蒸氣的高精度,高靈敏度測量。


應(yīng)用領(lǐng)域:

煙囪監(jiān)測器

工藝監(jiān)測改進和優(yōu)化

空氣環(huán)境分析

氣體純度分析

燃燒排放監(jiān)測

選擇性硅整流催化還原性能監(jiān)測

特點和優(yōu)點:

●10ppb~100%靈敏度對于絕大多數(shù)有毒有害氣體

●易于移動從一處移到另一處,設(shè)置僅需幾分鐘

●同時分析和顯示多達30種氣體

●分析儀儲存了校準光譜,省去了氣體筒的成本

●取樣氣體在進入分析室前加熱并維持恒定溫度

●線性檢測器,確保所有分析儀維持在相同的校準條件下

●頻率和分辨率診斷,確保校準恒定

●提供自動溫度和壓力補償以確保分析精度

●用戶操作簡便軟件界面,稍加培訓(xùn)即可操作


分析儀主

MG6030測試技術(shù)                         傅里葉變換紅外光

可測試氣體或水蒸氣        絕大多數(shù)分子除了氮氣,氧氣和氫氣

范圍                                濃度從10ppb到100%

傅里葉變換紅               2102制成傅里葉變換紅

光譜分辨                      0.5 - 128cm-1

掃描速                         每秒5次在0.5cm-1

掃描時                         1 300

紅外                            碳化硅在1200℃

參考激                         氦氖(15798.2cm-1)

檢測                            液氮冷卻MCT或半導(dǎo)體制冷冷卻MCT(汞-鎘-碲化物

清潔(Purge)壓             最大20PSI(1.5bar)

光譜室Purge流            0.2升/分,干燥氮氣或露點在-70℃以下無二氧化碳干燥空氣

光學(xué)系統(tǒng)Purge流         0.2升/分,干燥氮氣或露點在-70℃以下無二氧化碳干燥空氣

壓力傳感                     MKS Baratron 電容式薄膜壓力傳感

Purge連                      Swagelok 快速接

電腦要                        臺式或筆記本電腦帶Intel奔騰 處理器,微軟Wingdows; XP操作系統(tǒng),1024 X 768顯示

通訊                           RJ-45交叉以太網(wǎng)

輸出選                        XML,模擬,AK,其

                             445mm寬 *318mm高 * 648mm

E:\08-AI設(shè)計及物料印刷\17-深圳昂為 產(chǎn)品手冊\02第二部分 公司產(chǎn)品目錄\12 MKS 產(chǎn)品圖片和資料\QQ圖片20230606171414.png                              可安裝于19英寸標(biāo)準機

                             110V或220V,50/60hz,3A

                             50公


IR Spectrum of Semiconductor Stack: Sample (white), Calibrations (color). MG 6030 can speciate (differentiate) similar molecules simultaneously.



分析儀采樣參數(shù)

QQ圖片20230606171409

采樣溫                 室溫至200℃(取決于校準溫度

采樣速                 0.2 10升/

采樣壓                 0.01 4大氣壓(取決于校準壓力

結(jié)構(gòu)                        鍍鎳鋁,或316不銹鋼焊接選

                       Swagelok?或VCR?

采樣壓                 1個大氣壓(取決于校準壓力

                       加熱不銹

Graphical User Interface for Calibration

                          鋁襯底鎳板,鍍

                       KBr﹔CaF2, ZnSe(其他可選)

“O"型密封        Viton(其他可選)

檢測極

5.11米氣室,MCT檢測器在0.5cm-1分辨率下,下列典型氣體檢測數(shù)據(jù)為:

名稱

分子式

20/20TM氣室,

5分鐘檢測時間下的檢測值

20/20TM氣室,

1秒鐘檢測時間下的檢測值

氨氣

NH3

30ppb

0.5ppm

二氧化碳

CO2

12ppb

0.2ppm

一氧化碳

CO

72ppb

1.2ppm

甲醛

H2CO

36ppb

0.6ppm

氯化氫

HCl

87ppb

1.5ppm

甲烷

CH4

36ppb

0.6ppm

二氧化氮

NO2

24ppb

0.4ppm

氧化氮

NO

210ppb

3.6ppm

氧化二氮

N2O

30ppb

0.5ppm

四氟化硅

SiF4

10ppb

0.15ppm

二氧化硫

SO2

36ppb

0.6ppm

四氟化碳

CF4

2.5ppb

40ppb

二甲苯磺

C8H10

60ppb

1.0ppm


 

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